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四室磁控溅射镀膜机AR+DLC+AF

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四室及多腔室磁控溅射镀膜设备:

     HD-SSCK1600-ICP是一款高兼容性设备,主要生产AR+DLC+AF ,NCVM+DLC+AF,同时可兼容菲林(NCVM)、车载、摄像头超硬AR、IR-CUT等滤光片、人脸识别等产品。

     设备镀膜工艺室不破空,功能镀膜腔体分离,互不污染,稳定性重复性优异,采取整鼓平移连续的方式,省去抽放气时间,极大提高生产效率。

工件转动:1~120r/min无极可调
极限真空:<2.0E-4Pa
膜层均匀性: ≤1%(T Max.-Tmin.)/( T Max.+Tmin.)
有效镀膜尺寸:Φ1600mm*H800
特点:四个功能腔室,互不污染,单腔体实现功能可做模块化调整。
标准配置:CM1:前处理室(plasma),CM2:光学镀膜室(AR、NCVM等),CM3室:DLC 镀膜室,CM4室:AF 蒸发室
优势产品:AR+DLC+AF;  NCVM+DLC+AF  钢丝绒耐磨5000次水滴角大于100度,莫氏硬度>8(500g)


公司自成立以来,一直是真空镀膜设备行业内的龙头企业,是行业内少数具有镀膜生产线设备整体设计及系统集成能力的企业之一,被中国通用机械工业协会真空设备分会认定为“真空设备行业重点企业”和“国内真空镀...

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