异质结ITO电极双面磁控溅射镀膜生产线 ◆生产节拍:≥45s◆产品:ITO、金属膜◆可镀膜产品尺寸:156、158、166、202mm等◆膜层均匀性: ≤3%(T Max.-Tmin.)/( T Max.+Tmin.)◆设备特点:双面镀膜,腔体模块式设计